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纳米位移平台是一种高精度、高稳定性的设备,广泛应用于科研、工业和医疗等领域,具有纳米级或亚纳米级的定位精度。纳米位移平台主要分为两大类:压电纳米定位台和基于无铁芯直线电机的纳米定位平台。压电纳米定位台通过压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现精密运动,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,可实现纳米级分辨率及定位精度。
· 纳米级精度
· 响应速度快
· 高稳定性
· 无摩擦