精密气浮移载板

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采用正负压协同控制技术,有效抑制刚性或柔性玻璃在传输过程中的振动,确保运行平稳可靠。超大范国气浮区域设计,显著降低设备平面度调试难度,进一步提升玻璃在移载过程中的整体稳定性。