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功能：PV检测区
材质：铝合金
气膜厚度：150-250μm
气膜厚度控制：±20μm
静态气膜稳定性：±2μm
使用压力范围：0-0.5mpa
承载基板厚度：0.1-3mm
最大基板移载速度：2.5m/s
