真空预压平面气浮运动平台

真空预压平面气浮平台采用真空预载,非接触式无摩擦运动可实现高刚性和高动态性。

真空预压平面气浮平台具备高速高效运动,同时又能减小步进稳定时间。最大速度可达2m/s,最大加速度2G。

真空预压平面气浮平台可以根据客户要求定制,还可搭配Z升降台、θ转台组合为X-Y-Z-θ的多轴系统。

  • 产品描述
  • 机械尺寸
  • 规格型号
  • 性能参数


(1)取决于平台安装表面的平面度。

(2)受有效负载、控制器或驱动器的限制。

(3)设定有效负载重心位于运动平台上方 50 毫米范围以内的中间,平台仅设计用于水平操作。

(4)通过控制器的误差补偿,可改善精度,为实现这些数值,平台必须与控制器一起购买。精度值取短

时间段,不考虑平台上温漂的长期影响。测量环境温度为 22℃±0.5℃,环境震动满足 VC-C或以上标准。

(5)根据实际需求可选配增量式或绝对式编码器,分辨率按实际选配为准,最小步进根据分辨率来确定。

(6)为了防止空气压力不足,建议安装气压开关,信号输入到运动控制器的急停(E-STOP)端口。