• 行程范围：1300 mm（可定制）
• 承载能力：≤ 100 kg
• 运动直线度：±2 μm / 全行程
• 平台平面度：±2μm / 全行程
• 重复定位精度：±0.3μm
• 最大速度：1 mm/s
• 最大加速度：1.5g
• 供气压力：0.4 ~ 0.6MPa（干燥洁净压缩空气）
• 耗气量：约 80 L/min（标准状态）
• 材质：大理石基体 + 大理石导轨面
• 工作温度：15 ~ 25 ℃（±1 ℃/h）
• 兼容接口：光栅尺数字量输出（BiSS / 增量式）
气浮平台
载多孔气浮轴承与磁力预载双核心技术，依靠洁净压缩空气实现全程无接触、零摩擦直线运动。依托气膜均压特性可自主抵消导轨微观形位偏差，稳定实现亚微米级重复定位精度；配合闭环光栅实时位置反馈，设备在高速、高加速运行工况下依旧运行平稳、无抖动共振。
适配半导体检测、光学扫描、计量校准、超精密加工等高洁净、超高精度生产检测场景，整机全程无需润滑，后期维护成本极低。