新品发布｜中研赢创自研气浮手指上市

近日，国产气浮新势力中研赢创推出自主研发的“气浮手指”新品。该产品依托定制化气流动力学模型优化技术重新定义了高端基板搬运的安全标准与精度极限，为TGV玻璃基板、超薄晶圆及精密板材的洁净流转提供了“无损、非接触”的全新解决方案。

一、核心优势：从“有痕接触”到“无感悬浮”

传统叉爪在取放过程中，因机械接触产生的摩擦微粒与静电释放（ESD）是导致线路损伤与颗粒污染的隐形杀手。中研赢创气浮手指通过精密计算的气流通道设计，在被搬运物体（晶圆/玻璃基板）表面形成100μm–200μm（0.1-0.2mm）均匀稳定的高压悬浮气层。

这一“空气垫”使得基板在取放、转运全程完全处于非接触状态，从物理上隔绝了摩擦产尘路径；同时，气浮介质具有良好的电荷中和特性，有效杜绝静电击穿风险，助力半导体产线稳定通过超高洁净标准（ISO Class 1级） 严苛审核。

二、技术突破：硬核参数破解搬运难题

针对当前先进封装中大量采用的通孔率高达20%的多孔基板/玻璃载板，传统吸盘因漏气而失效，而中研赢创气浮手指凭借优化的气流动力学模型，依然能够建立稳定气膜，实现正常抓取与精密搬运，彻底解决了高孔隙率材料搬运“无从下手”的行业难题。

核心性能参数表现卓越：

悬浮飞行高度：0.1mm–0.2mm（100–200μm）

供气压力：0.3–0.5MPa

静态抖动：≤1μm

工作流量：50–200L/min

适配基板：晶圆、TGV 玻璃、各类超薄精密基板

兼容工况：通孔率 20% 基板、翘曲超薄板材

核心特性：非接触悬浮、零产尘、防静电、自带翘曲整形

三、功能集成：不止于搬运，更在于整形

除了卓越的洁净搬运能力，中研赢创气浮手指还创新集成了基板翘曲整形功能。针对TGV玻璃基板、超薄复合板材因应力释放导致的翘曲问题，气浮手指通过多点可独立调节的气浮支撑力，在搬运过程中对基板施加均匀的微张力矫正。这意味着该部件不仅是“搬运手”，更是“整形平台”，有效提高下游曝光、键合等工艺的入射均匀性，显著提升产品良率。

四、应用场景

TGV玻璃基板先进封装产线（关键工序：玻璃通孔填孔后/薄化后搬运）；

大尺寸晶圆（Wafer）洁净传递与上下料；

超薄化合物半导体基板（如GaAs、InP）防碎裂转运；

高洁净度要求的光学元件及柔性/多孔电子薄膜取放。

从“接触”到“非接触”不仅是物理距离的0.1mm跃升，更是半导体制程洁净度与良率质变的关键。

中研赢创气浮手指以精湛的流体力学控制技术，为先进半导体洁净制程提供核心配套部件支持。现该新品已正式面向市场接受技术咨询。